5329 - 真空與表面物理導論

Introduction to Vacuum and Surface Physics.

教育目標 Course Target

講解真空與表面物理, 使學生具備相關研究的基礎
課程內容包括:
一. 真空介紹
1. 真空的定義
2. 真空度的單位及真空的分類
3. 真空的應用
二. 真空元件
1. 真空幫浦
2. 真空計
3. 真空材料及組件
4. 真空抽氣過程
三. 真空物理和基本理論
1. 氣體動力學
2. 真空系統的設計
四. 表面物理及應用
五. 表面分析技術
1. 歐傑電子能譜(AES)技術
2. 光電子能譜(XPS)技術
3. LEED
4. RHEED
5. STM
6. AFM
7. SEM/TEM

Explain vacuum and surface physics to equip students with the foundation for related research
Course content includes:
1. Introduction to vacuum
1. Definition of vacuum
2. Units of vacuum degree and classification of vacuum
3. Application of vacuum
2. Vacuum components
1. Vacuum pump
2. Vacuum gauge
3. Vacuum materials and components
4. Vacuum pumping process
3. Vacuum physics and basic theory
1. Gas Dynamics
2. Design of vacuum system
4. Surface physics and applications
5. Surface analysis technology
1. Oujie Electronic Energy Spectroscopy (AES) Technology
2. Photoelectron spectroscopy (XPS) technology
3. LEED
4.RHEED
5. STM
6. AFM
7.SEM/TEM

參考書目 Reference Books

1. Surface Analysis:The Principle Techniques, John C. Vickerman, JOHN WILEY & SONS,1997
2. 講義

1. Surface Analysis:The Principle Techniques, John C. Vickerman, JOHN WILEY & SONS,1997
2. Handouts

評分方式 Grading

評分項目
Grading Method		 配分比例
Percentage		 說明
Description
隋堂測驗及作業
Sui Hall Tests and Assignments
 25
期中考
midterm exam
 50 有兩次期中考
期末考
final exam
 25

授課大綱 Course Plan

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課程資訊 Course Information

基本資料 Basic Information
  • 課程代碼 Course Code: 5329
  • 學分 Credit: 0-3
  • 上課時間 Course Time:
    Thursday/6,7,8[BS508A]
  • 授課教師 Teacher:
    蕭錫鍊
  • 修課班級 Class:
    應物系3,4,應物碩1,2
  • 選課備註 Memo:
    大3,4可選[II類選修]
選課狀態 Enrollment Status
目前選課人數 Current Enrollment: 9 人
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