5331 - 黃光微影技術專題

Special Topics on Photolithography

教育目標 Course Target

黃光微影技術介紹
黃光微影技術演示
黃光微影技術實作


Introduction to yellow light lithography technology
Yellow light lithography technology demonstration
Implementation of yellow light lithography technology

參考書目 Reference Books

書名: MEMS Materials and Processes Handbook
作者: Reza Ghodssi and Pinyen Lin
出版商: Springer
出版年份: 2011

Book title: MEMS Materials and Processes Handbook
Author: Reza Ghodssi and Pinyen Lin
Publisher: Springer
Year of publication: 2011

評分方式 Grading

評分項目
Grading Method		 配分比例
Percentage		 說明
Description
出席
Attend
 20
期中考
midterm exam
 40
期末考
final exam
 40

授課大綱 Course Plan

點擊下方連結查看詳細授課大綱
Click the link below to view the detailed course plan

查看授課大綱 View Course Plan

相似課程 Related Courses

無相似課程 No related courses found

課程資訊 Course Information

基本資料 Basic Information
  • 課程代碼 Course Code: 5331
  • 學分 Credit: 0-3
  • 上課時間 Course Time:
    Wednesday/10,11,12[ST132]
  • 授課教師 Teacher:
    黃家逸
  • 修課班級 Class:
    應物系3,4,碩博1,2
  • 選課備註 Memo:
    大34可選修，人工選課
選課狀態 Enrollment Status
目前選課人數 Current Enrollment: 15 人
請先登入才能進行選課登記
Please login first

交換生/外籍生選課登記

請點選上方按鈕加入登記清單，再等候任課教師審核。
Add this class to your wishlist by clicking the button above.