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應用物理學系
course information of 107 - 2 | 5331 Special Topics on Photolithography(黃光微影技術專題)

5331 - 黃光微影技術專題 Special Topics on Photolithography


教育目標 Course Target

黃光微影技術介紹 黃光微影技術演示 黃光微影技術實作 Introduction to Huangguang Microfilm Technology Huangguang Weiying Technology Demonstration Yellow light micro-shading technology implementation


參考書目 Reference Books

書名: MEMS Materials and Processes Handbook
作者: Reza Ghodssi and Pinyen Lin
出版商: Springer
出版年份: 2011


Book name: MEMS Materials and Processes Handbook
Author: Reza Ghodssi and Pinyen Lin
Publisher: Springer
Publication Year: 2011


評分方式 Grading

評分項目 Grading Method 配分比例 Grading percentage 說明 Description
出席出席
Attend
20
期中考期中考
Midterm exam
40
期末考期末考
Final exam
40

授課大綱 Course Plan

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Course Information

Description

學分 Credit:0-3
上課時間 Course Time:Wednesday/10,11,12[ST132]
授課教師 Teacher:黃家逸
修課班級 Class:應物系3,4,碩博1,2
選課備註 Memo:大34可選修,人工選課
授課大綱 Course Plan: Open

選課狀態 Attendance

There're now 15 person in the class.
目前選課人數為 15 人。

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