5332 - 黃光微影技術 英授 Taught in English
教育目標 Course Target
1.黃光微影技術介紹
2.黃光微影技術演示
3.黃光微影技術實作
1. Introduction to yellow light lithography technology
2. Demonstration of yellow light lithography technology
3. Implementation of yellow light lithography technology
參考書目 Reference Books
書名: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
作者: Chris Mack
書版商:Wiley
書版年份: 2008
Book title: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Author: Chris Mack
Publisher:Wiley
Year of publication: 2008
評分方式 Grading
| 評分項目 Grading Method |
配分比例 Percentage |
說明 Description |
|---|---|---|
| 無評分方式資訊 No grading information | ||
授課大綱 Course Plan
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課程資訊 Course Information
基本資料 Basic Information
- 課程代碼 Course Code: 5332
- 學分 Credit: 3-0
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上課時間 Course Time:Tuesday/10,11,12[ST132]
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授課教師 Teacher:黃家逸
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修課班級 Class:應物系3,4,碩博
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選課備註 Memo:大34可選修；須經授課教師同意，人工選課
交換生/外籍生選課登記
請點選上方按鈕加入登記清單，再等候任課教師審核。
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