5332 - 黃光微影技術 英授 Taught in English
教育目標 Course Target
1.黃光微影技術介紹
2.黃光微影技術演示
3.黃光微影技術實作
1. Introduction to Huangguang Microfilm Technology
2. Yellow light micro-shading technology demonstration
3. Yellow light micro-shading technology implementation
參考書目 Reference Books
書名: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
作者: Chris Mack
書版商:Wiley
書版年份: 2008
Book name: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Author: Chris Mack
Bookseller: Wiley
Book Edition Year: 2008
評分方式 Grading
評分項目 Grading Method |
配分比例 Percentage |
說明 Description |
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無評分方式資訊 No grading information |
授課大綱 Course Plan
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課程資訊 Course Information
基本資料 Basic Information
- 課程代碼 Course Code: 5332
- 學分 Credit: 3-0
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上課時間 Course Time:Tuesday/10,11,12[ST132]
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授課教師 Teacher:黃家逸
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修課班級 Class:應物系3,4,碩博
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選課備註 Memo:大34可選修;須經授課教師同意,人工選課
交換生/外籍生選課登記
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