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應用物理學系
course information of 107 - 1 | 5332 (黃光微影技術)

Taught In English5332 - 黃光微影技術


教育目標 Course Target

1.黃光微影技術介紹 2.黃光微影技術演示 3.黃光微影技術實作 1. Introduction to Huangguang Microfilm Technology 2. Yellow light micro-shading technology demonstration 3. Yellow light micro-shading technology implementation


參考書目 Reference Books

書名: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
作者: Chris Mack
書版商:Wiley
書版年份: 2008
Book name: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Author: Chris Mack
Bookseller: Wiley
Book Edition Year: 2008


評分方式 Grading

評分項目 Grading Method 配分比例 Grading percentage 說明 Description

授課大綱 Course Plan

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Course Information

Description

學分 Credit:3-0
上課時間 Course Time:Tuesday/10,11,12[ST132]
授課教師 Teacher:黃家逸
修課班級 Class:應物系3,4,碩博
選課備註 Memo:大34可選修;須經授課教師同意,人工選課
This Course is taught In English 授課大綱 Course Plan: Open

選課狀態 Attendance

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