5327 - 薄膜製程技術（二） 英授 Taught in English
Thin Film Technology（II）
教育目標 Course Target
介紹薄膜材料製程技術及物理性質分析.
包括:
1.真空技術
2.物理氣相沉積
3.化學氣相沉積
4.薄膜成核成長原理
5.材料分析技術
Introduce thin film material manufacturing process technology and physical property analysis.
Includes:
1. Vacuum technology
2. Physical vapor deposition
3. Chemical vapor deposition
4. Principle of thin film nucleation and growth
5. Material analysis technology
參考書目 Reference Books
1. Optical Diagnostics for Thin Film Processing, Irving P.Herman, 1996, Academic Press
2. 講義
3. Introduction to solid state physics 8 edition (Charles Kittle)
4. Thin Film Deposition
1. Optical Diagnostics for Thin Film Processing, Irving P.Herman, 1996, Academic Press
2. Handouts
3. Introduction to solid state physics 8 edition (Charles Kittle)
4. Thin Film Deposition
評分方式 Grading
| 評分項目 Grading Method |
配分比例 Percentage |
說明 Description |
|---|---|---|
|
平常成績 normal grades |
40 | 包括出席, 作業,問答 |
|
報告 report |
40 | 專題書面及口頭報告 |
|
小考 Quiz |
20 | 隨堂小考 |
授課大綱 Course Plan
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課程資訊 Course Information
基本資料 Basic Information
- 課程代碼 Course Code: 5327
- 學分 Credit: 0-3
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上課時間 Course Time:Tuesday/12,Friday/10,11[BS511]
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授課教師 Teacher:蕭錫鍊
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修課班級 Class:應物系3,4,碩博1,2
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選課備註 Memo:學碩修習須經授課教師同意，人工選課
交換生/外籍生選課登記
請點選上方按鈕加入登記清單，再等候任課教師審核。
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