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應用物理學系
course information of 105 - 2 | 5327 Thin Film Technology(II)(薄膜製程技術(二))

Taught In English5327 - 薄膜製程技術(二) Thin Film Technology(II)


教育目標 Course Target

介紹薄膜材料製程技術及物理性質分析. 包括: 1.真空技術 2.物理氣相沉積 3.化學氣相沉積 4.薄膜成核成長原理 5.材料分析技術Introduction to the process technology and physical properties analysis of thin film materials. include: 1. Vacuum technology 2. Physical aura aggregation 3. Chemical gas phase aggregation 4. Principle of thin film nucleation and growth 5. Material Analysis Technology


參考書目 Reference Books

1. Optical Diagnostics for Thin Film Processing, Irving P.Herman, 1996, Academic Press
2. 講義
3. Introduction to solid state physics 8 edition (Charles Kittle)
4. Thin Film Deposition
1. Optical Diagnostics for Thin Film Processing, Irving P.Herman, 1996, Academic Press
2. Lecture
3. Introduction to solid state physics 8 edition (Charles Kittle)
4. Thin Film Deposition


評分方式 Grading

評分項目 Grading Method 配分比例 Grading percentage 說明 Description
平常成績平常成績
Normal achievements
40 包括出席, 作業,問答
報告報告
report
40 專題書面及口頭報告
小考小考
Small exam
20 隨堂小考

授課大綱 Course Plan

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Course Information

Description

學分 Credit:0-3
上課時間 Course Time:Tuesday/12,Friday/10,11[BS511]
授課教師 Teacher:蕭錫鍊
修課班級 Class:應物系3,4,碩博1,2
選課備註 Memo:學碩修習須經授課教師同意,人工選課
This Course is taught In English 授課大綱 Course Plan: Open

選課狀態 Attendance

There're now 13 person in the class.
目前選課人數為 13 人。

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