5329 - 黃光微影技術專題 英授 Taught in English
Special Topics on Photolithography
教育目標 Course Target
培養學生專業的黃光微影製程技術，為日後升學與就業鋪路。
To cultivate students' professional lithography process technology and pave the way for future studies and employment.
參考書目 Reference Books
Harry J. Levinson, Principles of Lithography, Third Edition (SPIE PRESS, 2010)
Harry J. Levinson, Principles of Lithography, Third Edition (SPIE PRESS, 2010)
評分方式 Grading
| 評分項目 Grading Method |
配分比例 Percentage |
說明 Description |
|---|---|---|
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出席 Attend |
50 | |
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專題成果 Special results |
50 |
授課大綱 Course Plan
點擊下方連結查看詳細授課大綱
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課程資訊 Course Information
基本資料 Basic Information
- 課程代碼 Course Code: 5329
- 學分 Credit: 3-0
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上課時間 Course Time:Thursday/9,10,11[ST215]
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授課教師 Teacher:黃家逸
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修課班級 Class:應物系3,4,碩博
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選課備註 Memo:應物3,4可選修；開學二週內，親自找授課教師辦理人工加選
交換生/外籍生選課登記
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